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 The influence of high-temperature nitridation process on the crystalline quality of semipolar (112‾2) GaN epitaxial films 高温氮化工艺对半极性(112‾2)GaN外延薄膜结晶质量的影响
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期刊：Current Applied Physics 作者：Wenlong Li; Lianshan Wang; Ruohao Chai; Ling Wen; Haixia Lu; et al 出版日期：2022-04-09 |
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