High-quality structures on 4H-SiC fabricated by femtosecond laser LIPSS and chemical etching

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标题	High-quality structures on 4H-SiC fabricated by femtosecond laser LIPSS and chemical etching 飞秒激光LIPSS和化学刻蚀制备4H-SiC高质量结构相关领域材料科学飞秒激光器蚀刻（微加工）拉曼光谱各向同性腐蚀激光烧蚀烧蚀光学无定形固体表面等离子体激元光电子学图层（电子）表面等离子体子纳米技术等离子体子有机化学化学航空航天工程工程类物理
网址	https://doi.org/10.1016/j.optlastec.2023.109437
DOI	10.1016/j.optlastec.2023.109437 doi
其它	期刊：Optics and Laser Technology 作者：Yan-Cheng Liang; Yi-En Li; Yi-Hsien Liu; Jia-Fan Kuo; Chung-Wei Cheng; et al 出版日期：2023-08-01
求助人	Jing 在 2025-03-30 20:28:48 发布自江苏，悬赏 10 积分
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