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![]() CF4等离子体处理Ge提高Pt/Ti/Al2O3/p-Ge金属氧化物半导体存储器件可靠性
相关领域
材料科学
可靠性(半导体)
等离子体
氧化物
金属
半导体
光电子学
冶金
量子力学
物理
功率(物理)
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其它 |
期刊:Materials Science in Semiconductor Processing 作者:Eunjeong Cho; Min Jeong Kim; Se‐Young Oh; Woojin Park; Jongwon Yoon; et al 出版日期:2025-04-23 |
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