Effect of target composition on the microstructural, mechanical, and corrosion properties of TiAlN thin films deposited by high-power impulse magnetron sputtering

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标题	Effect of target composition on the microstructural, mechanical, and corrosion properties of TiAlN thin films deposited by high-power impulse magnetron sputtering
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S025789721...
DOI	10.1016/j.surfcoat.2018.08.023 doi
其它	期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Chi-Lung Chang; Fu-Chi Yang 出版日期：2018-08-09
求助人	海笑在 2026-11-02 17:33:29 发布自江苏，悬赏 10 积分
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