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 Electrical and structural comparison of (100) and (002) oriented AlN thin films deposited by RF magnetron sputtering 相关领域
材料科学
薄膜
电介质
溅射沉积
氮化铝
结晶度
氮化物
溅射
电阻率和电导率
腔磁控管
铝
光电子学
复合材料
纳米技术
图层（电子）
电气工程
工程类
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期刊：Journal of Materials Science: Materials in Electronics 作者：Anis Suhaili Bakri; N. Nafarizal; Ahmad Shuhaimi Abu Bakar; Megat Muhammad Ikhsan Megat Hasnan; Nur Amaliyana Raship; et al 出版日期：2022-04-19 |
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