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标题
Effect of ozone treatment on the optical and electrical properties of HfSiO thin films
臭氧处理对HfSiO薄膜光电性能的影响
相关领域
臭氧 极化率 电介质 原子层沉积 折射率 薄膜 材料科学 化学 光电子学 纳米技术 分子 有机化学
网址
https://doi.org/10.1007/s00339-013-8110-8
DOI
10.1007/s00339-013-8110-8 doi
其它 期刊：Applied Physics A
作者：Yang Geng; Wen Yang; Shang-Bin Zhu; Yuan Zhang; Qingqing Sun; et al
出版日期：2013-11-15
求助人
赫尔坤兰 在 2025-12-23 00:56:49 发布自福建，悬赏 10 积分
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