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Effect of ozone treatment on the optical and electrical properties of HfSiO thin films
臭氧
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有机化学
作者
Yang Geng,
Wen Yang,
Shang-Bin Zhu,
Yuan Zhang,
Qingqing Sun,
Hong‐Liang Lu,
David Wei Zhang
出处
期刊：
Applied Physics A
[Springer Science+Business Media]
日期：2013-11-15
卷期号：116 (1): 259-263
被引量：2
标识
DOI：10.1007/s00339-013-8110-8
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