3D nanolithography with metalens arrays and spatially adaptive illumination

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标题	3D nanolithography with metalens arrays and spatially adaptive illumination 具有金属透镜阵列和空间自适应照明的三维纳米光刻
网址	https://doi.org/10.1038/s41586-025-09842-x
DOI	10.1038/s41586-025-09842-x doi
其它	期刊：Nature 作者：Songyun Gu; Chenkai Mao; Anna Guell Izard; Sarvesh Sadana; Dongping Terrel-Perez; et al 出版日期：2025
求助人	Pendulium 在 2025-12-18 08:59:19 发布自北京，悬赏 10 积分
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