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Photolithographic patterning of bihelical tracks onto conical substrates
双螺旋轨道在锥形衬底上的光刻图案化
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网址
https://doi.org/10.1117/1.2824377
AI链接 spiedigitallibrary.org ac.uk worktribe.comdoi.org
DOI
10.1117/1.2824377 doi
其它 期刊：Journal of Micro-nanolithography Mems and Moems
作者：Alan Purvis; Richard McWilliam; Simon Johnson; N.L. Seed; G. Williams; et al
出版日期：2007-10-01
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YUAN 在 2025-12-06 21:03:17 发布自湖南，悬赏 20 积分
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