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标题
Direct Die to Wafer Cu Hybrid Bonding for Volume Production
用于批量生产的直接管芯到晶圆铜混合键合
相关领域
模具(集成电路) 薄脆饼 晶片键合 退火(玻璃) 阳极连接 材料科学 引线键合 模具准备 CMOS芯片 机械工程 计算机科学 光电子学 电气工程 工程类 纳米技术 复合材料 晶片切割 炸薯条
网址
DOI
10.1109/ECTC51909.2023.00024 doi
其它 期刊:
作者:Chun Ho Fan; H. Ng; Siu Cheung So; Ngai Tat Man; Chi Yung Lee; et al
出版日期:2023-05-01
求助人
9527 在 2025-12-09 03:20:29 发布自美国,悬赏 10 积分
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