The addition of strain in uniaxially strained transistors by both SiN contact etch stop layers and recessed SiGe sources and drains - 科研通

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标题	The addition of strain in uniaxially strained transistors by both SiN contact etch stop layers and recessed SiGe sources and drains
网址	http://dx.doi.org/10.1063/1.4764045
DOI	10.1063/1.4764045 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Thibaud Denneulin; David Cooper; Jean-Michel Hartmann; Jean-Luc Rouviere 出版日期：2012-11-01
求助人	zheng 在 2026-07-06 10:49:51 发布自江苏，悬赏 10 积分
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