Effects of sputtering pressure and oxygen partial pressure on amorphous Ga2O3 film-based solar-blind ultraviolet photodetectors - 科研通

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标题	Effects of sputtering pressure and oxygen partial pressure on amorphous Ga2O3 film-based solar-blind ultraviolet photodetectors
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2022.154606
DOI	10.1016/j.apsusc.2022.154606 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Keyun Gu; Zilong Zhang; Ke Tang; Jian Huang; Meiyong Liao; et al 出版日期：2022-09-08
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