LPCVD grown n-type doped β-Ga2O3 films on c-plane sapphire using TEOS precursor - 科研通

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标题	LPCVD grown n-type doped β-Ga2O3 films on c-plane sapphire using TEOS precursor
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.mssp.2025.109697
DOI	10.1016/j.mssp.2025.109697 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Modassir Anwer; Amit Verma 出版日期：2025-10-01
求助人	无处不在在 2026-09-19 15:43:34 发布，悬赏 10 积分
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