Sensitivity Enhancement of Mems Resonant Accelerometers by Using Electrostatic Spring

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标题	Sensitivity Enhancement of Mems Resonant Accelerometers by Using Electrostatic Spring
网址	https://doi.org/10.1109/INERTIAL48129.2020.9090015
DOI	10.1109/INERTIAL48129.2020.9090015 doi
其它	期刊：2020 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (INERTIAL) 作者：Xingyin Xiong; Wang Zheng; Kunfeng Wang; Zhitian Li; Wuhao Yang; Xudong Zou 出版日期：2020
求助人	虾米在 2026-03-16 13:06:31 发布自江苏，悬赏 10 积分
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