Tin oxide atomic layer deposition from tetrakis(dimethylamino)tin and water

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标题	Tin oxide atomic layer deposition from tetrakis(dimethylamino)tin and water 四（二甲氨基）锡与水沉积氧化锡原子层相关领域原子层沉积锡材料科学无定形固体氧化锡 X射线光电子能谱退火（玻璃）微晶化学工程椭圆偏振法金红石薄膜氧化物分析化学（期刊）纳米技术冶金结晶学化学工程类色谱法
网址	https://doi.org/10.1116/1.4812717
DOI	10.1116/1.4812717 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science and Technology 作者：Marja N. Mullings; Carl Hägglund; Stacey F. Bent 出版日期：2013-07-09
求助人	xkhxh 在 2024-02-17 19:22:59 发布自江苏，悬赏 10 积分
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