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 Composition and Properties Control Growth of High-Quality GaOxNy Film by One-Step Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition 一步等离子体增强原子层沉积高质量GaOxNy薄膜的组成和性能控制
相关领域
原子层沉积
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期刊：Chemistry of Materials 作者：Hong-Ping Ma; Xiao-Xi Li; Jia-He Yang; Peihong Cheng; Wei Huang; et al 出版日期：2019-09-10 |
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