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标题
Near-zero-adhesion-enabled intact wafer-scale resist-transfer printing for high-fidelity nanofabrication on arbitrary substrates
在任意衬底上实现高保真纳米制造的近零粘附完整晶片级抗蚀剂转移印刷
相关领域
制作 纳米技术 材料科学 薄脆饼 转印 纳米电子学 纳米光刻 抵抗 纳米结构 平版印刷术 纳米光子学 光刻 纳米尺度 光电子学 图层(电子) 医学 替代医学 病理 复合材料
网址
DOI
10.1088/2631-7990/ad01fe doi
其它 期刊:International Journal of Extreme Manufacturing
作者:Zhiwen Shu; Bo Feng; Peng Liu; Lei Chen; Huikang Liang; et al
出版日期:2023-11-03
求助人
是的 在 2024-01-03 09:25:08 发布自吉林,悬赏 10 积分
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