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标题
Cryogenic HF plasma etching of SiO2: Etchant penetration, reactions, and damage formation
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2026.168226
DOI
10.1016/j.apsusc.2026.168226 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Shota Nunomura; Yusuke Imai; Shih-Nan Hsiao; Takayoshi Tsutsumi; Masaru Hori
出版日期：2027-01-01
求助人
wf 在 2026-09-29 15:38:44 发布自福建，悬赏 10 积分
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