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![]() 基于稳态多物理模型的4英寸金刚石膜沉积高效MPCVD反应器的设计与优化
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期刊:Diamond and Related Materials 作者:Wencong Zhang; Yong Yang; Huacheng Zhu; Xiaoshan Peng; Hongxing Tian; et al 出版日期:2025 |
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