Design and optimization of a high-efficiency MPCVD reactor for 4-inch diamond film deposition based on steady-state Multiphysics modeling

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标题	Design and optimization of a high-efficiency MPCVD reactor for 4-inch diamond film deposition based on steady-state Multiphysics modeling 基于稳态多物理模型的4英寸金刚石膜沉积高效MPCVD反应器的设计与优化
网址	https://doi.org/10.1016/j.diamond.2025.112446
DOI	10.1016/j.diamond.2025.112446 doi
其它	期刊：Diamond and Related Materials 作者：Wencong Zhang; Yong Yang; Huacheng Zhu; Xiaoshan Peng; Hongxing Tian; et al 出版日期：2025
求助人	yangyong 在 2025-05-16 12:11:44 发布自贵州，悬赏 10 积分
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