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![]() 通过改善界面质量演示高鲁棒性5 nm Hf0.5Zr 0.5 O₂超薄铁电电容器
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期刊:IEEE Electron Device Letters 作者:Yan-Kui Liang; Jui-Sheng Wu; Chih-Yu Teng; Hua-Lun Ko; Quang Ho Luc; et al 出版日期:2021-08-05 |
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