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标题
Isolating GaSb membranes grown metamorphically on GaAs substrates using highly selective substrate removal etch processes
使用高选择性衬底去除蚀刻工艺隔离在GaAs衬底上变质生长的GaSb膜
相关领域
腐蚀坑密度 材料科学 基质（水族馆） 膜 原子力显微镜 衍射 蚀刻（微加工） 光电子学 纳米技术 化学 光学 图层（电子） 生物化学 海洋学 物理 地质学
网址
https://doi.org/10.2172/1344781
AI链接 osti.govdoi.org
DOI
10.2172/1344781 doi
其它 期刊：
作者：Olga Lavrovа; Ganesh Balakrishnan
出版日期：2017-02-24
求助人
苹果 在 2025-05-28 13:25:02 发布自浙江，悬赏 10 积分
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