Laser interference and nanospheres UV lithography to produce micro and nanostructured TiO2 and TiN based sol-gel layers

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标题	Laser interference and nanospheres UV lithography to produce micro and nanostructured TiO2 and TiN based sol-gel layers 激光干涉和纳米球紫外光刻制备微米和纳米结构TiO2和TiN基溶胶-凝胶层相关领域材料科学锡纳米柱纳米技术平版印刷术纳米压印光刻蚀刻（微加工）溶胶凝胶纳米光刻光电子学纳米结构图层（电子）制作冶金病理替代医学医学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2635170
DOI	10.1117/12.2635170 doi
其它	期刊：作者：Yves Jourlin; Nicolas Crespo‐Monteiro; Victor Vallejo Otero; Marie Traynar; Maria Usuga Higuita; et al 出版日期：2022-10-03
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