| 标题 |
 Stress and frequency analysis of silicon diaphragm of MEMS based piezoresistive pressure sensor 基于MEMS的压阻式压力传感器硅膜片的应力和频率分析
相关领域
压阻效应
振膜（声学）
微电子机械系统
材料科学
压力传感器
有限元法
灵敏度（控制系统）
压力（语言学）
硅
声学
振动
频率响应
光电子学
电子工程
结构工程
电气工程
机械工程
物理
工程类
哲学
语言学
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：International Journal of Modern Physics B 作者：Samridhi Samridhi; Manish Kumar; Sachin Dhariwal; Kulwant Singh; P. A. Alvi 出版日期：2019-02-26 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成，仅限求助人下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
孙燕
lzx
学术达人
GingerF
Billy
zho
herococa
YifanWang
andrele
pcr163
nenoaowu
SYLH
yx_cheng
乐哥大学霸
Sid
Hayat
pppprrrrrrr
飞翔的霸天哥
Alex
hahamissyu
皖公网安备34019202002308
