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Effect of SF6 flow ratio on microstructure and properties of MgF2 thin films prepared by magnetron sputtering SF6流量比对磁控溅射制备的MgF2薄膜结构和性能的影响
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期刊:Chemical Physics Letters 作者:Chunyu Ma; Chong Zhao; Juncheng Liu; Zhigang Liu; Yan Chen 出版日期:2021-01-01 |
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