A method for optical proximity correctionbased on a vector imaging model

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标题	A method for optical proximity correctionbased on a vector imaging model 一种基于矢量成像模型的光学邻近校正方法相关领域计算机科学光学接近校正过程（计算） GSM演进的增强数据速率算法点（几何）关系（数据库）点扩散函数差速器（机械装置）软件图像（数学）光学计算机视觉数学数据挖掘物理几何学热力学程序设计语言操作系统
网址	https://doi.org/10.1364/ao.518578 AI链接 nih.govdoi.org
DOI	10.1364/ao.518578 doi
其它	期刊：Applied optics 作者：Ruixuan Wu; Lisong Dong; Yayi Wei 出版日期：2024-03-27
求助人	LW97 在 2024-04-16 18:49:21 发布自上海，悬赏 10 积分
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