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Fluorination behavior of Y2O3-MgO nanocomposite films irradiated by CF4/O2 plasma
CF4/O2等离子体辐照Y2O3-MgO纳米复合薄膜的氟化行为
相关领域
纳米复合材料
材料科学
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氟
化学工程
等离子体刻蚀
溅射
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冶金
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期刊:Ceramics international 作者:San-Yuan Huang; Yu‐Hao Chang; Wei-Kai Wang 出版日期:2023-11-01 |
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