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标题
High Sensitivity MEMS Accelerometer Using PZT-Based Four L-Shaped Beam Structure
采用压电陶瓷四L形梁结构的高灵敏度MEMS加速度计
相关领域
加速度计 压电加速度计 锆钛酸铅 灵敏度(控制系统) 微电子机械系统 材料科学 压电 压阻效应 噪音(视频) 梁(结构) 电容感应 声学 压电传感器 电子工程 电气工程 光电子学 计算机科学 复合材料 工程类 物理 光学 电介质 铁电性 人工智能 图像(数学) 操作系统
网址
DOI
10.1109/jsen.2022.3155407 doi
其它 期刊:IEEE Sensors Journal
作者:Shuzheng Shi; Wenping Geng; Kaixi Bi; Yikun Shi; LI Fen; et al
出版日期:2022-02-28
求助人
QIANLI 在 2025-09-04 11:02:04 发布自四川,悬赏 10 积分
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