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High Sensitivity MEMS Accelerometer Using PZT-Based Four L-Shaped Beam Structure 采用压电陶瓷四L形梁结构的高灵敏度MEMS加速度计
相关领域
加速度计
压电加速度计
锆钛酸铅
灵敏度(控制系统)
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材料科学
压电
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期刊:IEEE Sensors Journal 作者:Shuzheng Shi; Wenping Geng; Kaixi Bi; Yikun Shi; LI Fen; et al 出版日期:2022-02-28 |
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