Displacement damage effects in silicon MEMS at high proton doses

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标题	Displacement damage effects in silicon MEMS at high proton doses 相关领域材料科学硅电离辐射质子辐射损伤微电子机械系统绝缘体上的硅光电子学辐照辐射光学物理核物理学
网址	https://doi.org/10.1117/12.873546
DOI	10.1117/12.873546 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：João F. Gomes; Herbert Shea 出版日期：2011-02-10
求助人	linkai 在 2025-09-26 15:00:22 发布自福建，悬赏 20 积分
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