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Effect of substrate constraint on stress-induced cracking of sputtered tungsten thin film
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网址
https://doi.org/10.7498/aps.57.5226
DOI
10.7498/aps.57.5226 doi
其它 期刊：Acta Physica Sinica
作者：Sun Haoliang; Song Zhongxiao; Kewei Xu
出版日期：2008-01-01
求助人
jlm@kyt 在 2025-10-28 11:43:39 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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