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DEPOSITION OF HIGH-QUALITY c-BN FILM ENHANCED BY PULSED DC BIAS TECHNIQUE 脉冲直流偏压增强高质量c-BN薄膜的沉积
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期刊:Acta Physica Sinica 作者:TIAN JING-ZE; LU Fan-xiu; Lifang Xia 出版日期:2001-01-01 |
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