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标题
Effect of heat treatment on structural, optical and mechanical properties of sputtered TiOxNy films
热处理对溅射TiOxNy薄膜结构、光学和力学性能的影响
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网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S004060900...
DOI
10.1016/j.tsf.2004.04.017 doi
其它 期刊：Thin Solid Films
作者：S.H. Mohamed; O. Kappertz; T. Niemeier; R. Drese; M.M. Wakkad; M. Wuttig
出版日期：2004-05-12
求助人
鸡狗不如 在 2025-12-30 23:04:27 发布自河北，悬赏 10 积分
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