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A comparative study of wet etching and contacts on(-201)and (010) oriented β-Ga2O3 (-201)和(010)取向β-Ga2O3湿法刻蚀和接触的比较研究
相关领域
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作者:Soohwan Jang a, Sunwoo Jung a , Kimberly Beers b , Jiancheng Yang c , Fan Ren c, A. Kuramata d, S.J. Pearton b, Kwang Hyeon Baik e |
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