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Design and Characterization of an Aluminum Nitride-Based MEMS Hydrophone With Biologically Honeycomb Architecture 相关领域
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期刊:IEEE Transactions on Electron Devices 作者:Licheng Jia; Lei Shi; Chongbin Liu; Yunxin Yao; Chengliang Sun; et al 出版日期:2021-07-12 |
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