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Investigation of the intrinsic outgassing rates for narrow structured vacuum devices under readsorption effect 相关领域
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者:Zhengwei Mei; Hailin Bi; Qing Cao; Yuqing Wang; Wenyu Lin; et al 出版日期:2023-09-01 |
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