Molecular dynamics simulation of water vapor barrier properties for silicon nitride deposited by PECVD

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标题	Molecular dynamics simulation of water vapor barrier properties for silicon nitride deposited by PECVD
网址	https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2025.181147
DOI	10.1016/j.jallcom.2025.181147 doi
其它	期刊：Journal of Alloys and Compounds 作者：Bing Tian; Majiaqi Wu; Xiaoni Yang; Zhengrong Guo; Lianqiao Yang 出版日期：2025-05-01
求助人	xkyasc 在 2026-07-22 18:35:01 发布自浙江，悬赏 10 积分
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