Novel PVA-Modified CeO2 Abrasives: Achieving Dual Control of SiO2 and Si3N4 Removal Rates in STI-CMP

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标题	Novel PVA-Modified CeO2 Abrasives: Achieving Dual Control of SiO2 and Si3N4 Removal Rates in STI-CMP
网址	https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2025.07.252
DOI	10.1016/j.ceramint.2025.07.252 doi
其它	期刊：Ceramics International 作者：Ning Xu; Jiaguo Yu; Yu Lin; Kailong Gao; Ziheng Gao; et al 出版日期：2025-07-01
求助人	liusiwei 在 2026-08-11 14:00:35 发布自湖北，悬赏 10 积分
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