Extremely Uniform Growth Integration of Stacked Silicon Nanowire Channels for High-Performance Transistors via an Embedded-Precursor-Feeding Strategy

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标题	Extremely Uniform Growth Integration of Stacked Silicon Nanowire Channels for High-Performance Transistors via an Embedded-Precursor-Feeding Strategy
网址	https://pubs.acs.org/doi/pdf/10.1021/acsnano.5c09735
DOI	10.1021/acsnano.5c09735 doi
其它	期刊：ACS Nano 作者：Lei Liang; Wentao Qian; Lei Yan; Mingyu Xie; Wei Liao; et al 出版日期：2025-10-28
求助人	dongyang 在 2026-07-10 10:24:37 发布自中国，悬赏 10 积分
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