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Highly Reliable Electrocaloric Behaviors of Antiferroelectric Al:ZrO2 Thin Films for Solid-State Cooling in Integrated Circuits
用于集成电路固态冷却的反铁电Al:ZrO2薄膜的高可靠电热行为
相关领域
材料科学 分析化学(期刊) 化学 有机化学
网址
DOI
10.1109/ted.2021.3119532 doi
其它 期刊:IEEE Transactions on Electron Devices
作者:Yuhua Liu; Li-Hsiang Lin; Shao-Hao Lu; Hsin‐Chun Lu; Jer‐Chyi Wang
出版日期:2021-10-26
求助人
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