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 Hierarchical colloid-based lithography for wettability tuning of semiconductor surfaces 用于半导体表面润湿性调节的分级胶体光刻
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Pavel Shapturenka; P Gaillard; Lesley Chan; Oleksandr Polonskyi; Michael J. Gordon 出版日期：2021-08-18 |
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