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标题
Design of feasible Si-Si3N4 interlayer polarization beam splitter toward 3D optical interconnect
相关领域
材料科学 消光比 光电子学 绝缘体上的硅 硅光子学 插入损耗 互连 光子学 光学 波导管 氮化硅 极化（电化学） 硅 波长 电信 计算机科学 物理 化学 物理化学
网址
https://doi.org/10.1117/12.2585254
DOI
10.1117/12.2585254 doi
其它 期刊：International Conference on Optoelectronic and Microelectronic Technology and Application
作者：Shuxiao Wang; Dawei Wang; Qing Wang; Mingbin Yu; Qing Fang; et al
出版日期：2020-12-04
求助人
温暖的弦 在 2025-10-13 19:52:02 发布自辽宁，悬赏 20 积分
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