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标题
Performance Enhancement of Self-Aligned Coplanar TFTs With ALD-IGZO Channels via Effective Doping From Interlayer Dielectric
利用层间介质有效掺杂提高ALD-IGZO沟道自对准共面薄膜晶体管的性能
相关领域
电介质 兴奋剂 材料科学 分析化学(期刊) 物理 光电子学 化学 有机化学
网址
DOI
10.1109/led.2023.3274811 doi
其它 期刊:IEEE Electron Device Letters
作者:Sung-Won Moon; Young-Ha Kwon; Nak-Jin Seong; Kyu-Jeong Choi; Sung-Min Yoon
出版日期:2023-07-01
求助人
Leung 在 2023-09-06 11:09:35 发布自广东,悬赏 10 积分
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    Leung Leung 求助人 Lv1 关闭了本次求助。

    说明 太久了【积分已退回】
  • 8个月前

    Leung Leung 求助人 Lv1 发起了本次求助

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