New method on real-time signal correction and subdivision for grating-based nanometrology

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标题	New method on real-time signal correction and subdivision for grating-based nanometrology 相关领域栅栏纳米计量学信号（编程语言）波形光学流离失所（心理学）振幅干涉测量旋转编码器衍射相（物质）衍射光栅旋转（数学）物理计算机科学编码器电压计量学人工智能心理治疗师心理学程序设计语言操作系统量子力学
网址	https://doi.org/10.1117/12.832061
DOI	10.1117/12.832061 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE 作者：Fang Cheng; Yetai Fei; Kuang‐Chao Fan 出版日期：2009-04-21
求助人	15639151616 在 2026-03-24 11:09:19 发布自河南，悬赏 20 积分
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