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标题
Investigation of Oxide Regrowth in the Selective Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub> Etching Process for 3D NAND Fabrication by Using Finite Element Modeling Simulation
基于有限元建模模拟的三维NAND选择性Si3N4刻蚀过程中氧化物再生长的研究
相关领域
氧化物 与非门 蚀刻（微加工） 堆栈（抽象数据类型） 制作 材料科学 热扩散率 光电子学 图层（电子） 电子工程 纳米技术 冶金 逻辑门 工程类 计算机科学 物理 病理 医学 程序设计语言 替代医学 量子力学
网址
https://www.scientific.net/SSP.346.143.pdf
DOI
10.4028/p-e7rksr doi
其它 期刊：Solid State Phenomena
作者：Tae Hyeon Kim; Yu Seok Lee; Jong Won Han; Sang Woo Lim
出版日期：2023-08-14
求助人
司空豁 在 2025-06-20 22:40:49 发布自福建，悬赏 30 积分
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