Influence of Nitrogen on Corrosion Resistance of Thin Ti–O–N Films Deposited by Reactive Magnetron Sputtering

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标题	Influence of Nitrogen on Corrosion Resistance of Thin Ti–O–N Films Deposited by Reactive Magnetron Sputtering 氮对反应磁控溅射Ti-O-N薄膜耐蚀性的影响相关领域钝化腐蚀材料科学溶解冶金重量分析溅射沉积极化（电化学）钛溅射氧化物薄膜氮气涂层电化学化学工程复合材料电极图层（电子）化学纳米技术有机化学物理化学工程类
网址	https://doi.org/10.1134/s2075113321040079
DOI	10.1134/s2075113321040079 doi
其它	期刊：Inorganic Materials Applied Research 作者：E. L. Boytsova; Ф. А. Ворошилов; L. A. Leonova 出版日期：2021-07-01
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Proceedings of the National Academy of Sciences of the United States of America (PNAS)

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