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Development of 3D tomosynthesis technique for nondestructive technology application using vertically aligned carbon nanotube-based high-resolution cold cathode electron beam
基于垂直排列碳纳米管的高分辨率冷阴极电子束三维层析技术的发展
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期刊:Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics 作者:Jaydip Sawant; Yi Yin Yu; Ketan Bhotkar; Hyun-Jung Jung; Gi Joon Nam; et al 出版日期:2023-03-27 |
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