标题 |
Implementation of Piezoelectric MEMS Microphone for Sensitivity and Sensing Range Enhancement
增强灵敏度和传感范围的压电MEMS麦克风的实现
相关领域
材料科学
话筒
微电子机械系统
声学
电容
带宽(计算)
表面微加工
灵敏度(控制系统)
电容感应
悬臂梁
制作
电介质
压电
电极
光电子学
电子工程
电气工程
计算机科学
工程类
声压
复合材料
物理
医学
病理
计算机网络
替代医学
量子力学
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊: 作者:Sheng-Hsiang Tseng; Shou-Chih Lo; Yu‐Chen Chen; Ya-Chu Lee; Mingching Wu; et al 出版日期:2020-01-01 |
求助人 | |
下载 | |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|