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标题
Implementation of Piezoelectric MEMS Microphone for Sensitivity and Sensing Range Enhancement
增强灵敏度和传感范围的压电MEMS麦克风的实现
相关领域
材料科学 话筒 微电子机械系统 声学 电容 带宽(计算) 表面微加工 灵敏度(控制系统) 电容感应 悬臂梁 制作 电介质 压电 电极 光电子学 电子工程 电气工程 计算机科学 工程类 声压 复合材料 物理 医学 病理 计算机网络 替代医学 量子力学
网址
DOI
10.1109/mems46641.2020.9056150 doi
其它 期刊:
作者:Sheng-Hsiang Tseng; Shou-Chih Lo; Yu‐Chen Chen; Ya-Chu Lee; Mingching Wu; et al
出版日期:2020-01-01
求助人
LGH 在 2024-05-13 14:49:04 发布自安徽,悬赏 10 积分
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