Atomic Layer Deposition of Epitaxial Ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 Thin Films

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标题	Atomic Layer Deposition of Epitaxial Ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 Thin Films 外延铁电Hf0.5Zr 0.5 O2薄膜的原子层沉积相关领域材料科学铁电性原子层沉积图层（电子）薄膜外延沉积（地质）光电子学纳米技术电介质古生物学沉积物生物
网址	https://doi.org/10.1002/adfm.202314396
DOI	10.1002/adfm.202314396 doi
其它	期刊：Advanced Functional Materials 作者：Jung Woo Cho; Myeong Seop Song; In Hyeok Choi; Kyoung‐June Go; Jaewoo Han; et al 出版日期：2024-02-08
求助人	食杂砸在 2024-03-22 09:40:10 发布自湖北，悬赏 10 积分
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