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标题
Investigation of Optimum Deposition Conditions of Radio Frequency Reactive Magnetron Sputtering of Al0.7Sc0.3N Film with Thickness down to 20 nm
网址
http://dx.doi.org/10.1002/aelm.202200726
DOI
10.1002/aelm.202200726 doi
求助人
清爽心情 在 2026-10-09 18:55:29 发布自广东，悬赏 10 积分
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    丘比特 丘比特 Lv11 上传了文件

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  • 8小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

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  • 8小时前

    清爽心情 清爽心情 Lv3 求助人 发起了本次求助

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