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[高分] 学位论文 Passive Triggering of a High-Power Hollow-Cathode EUV Lamp for Lithography
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| 其它 |
作者：Christopher Sydney Smith 出版社：Shaker Verlag，Aachen，Germany 出版年份：2006年（2005年博士论文的正式出版版本） 丛书：Berichte aus der Physik ISBN-13：9783832249106 ISBN-10：3832249109 出版社标注篇幅：152页 语言：英文 原学位授予学校：RWTH Aachen University，德国亚琛工业大学 原文献性质：博士学位论文，后由Shaker出版社正式出版。 本次求助范围：完整书籍／完整博士论文，包括正文、图表、附录及参考文献，不是某一章节。 |
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(2025-6-4)
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