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 Optical position encoder based on four-section diffraction grating 基于四段衍射光栅的光学位置编码器
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：A. Y. Zherdev; Sergey B. Odinokov; Д. С. Лушников; V. V. Markin; O. A. Gurylev; et al 出版日期：2017-05-15 |
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